محتويات الغرفة النظيفة (المصنع) والمرافق ذات الصلة

بناء واستخدامغرفة نظيفةينبغي أن تقلل من الإدخال الداخلي، وحدوث الجسيمات والاحتفاظ بها، أي عدم إدخال الجسيمات أو أقل، وعدم ظهور الجسيمات أو تقليلها، وعدم الاحتفاظ بالجزيئات أو تقليلها، وما إلى ذلك.

وفقا لمتطلبات إنتاج المنتج، المعلماتيحبدرجة حرارة, رطوبةذ و ضغط ينبغي السيطرة عليها.وفقًا لمتطلبات إنتاج المنتج، يجب أيضًا التحكم في توزيع الهواء وسرعة الهواء والضوضاء والاهتزاز والكهرباء الساكنة وما إلى ذلك في غرفة الأبحاث.لذلك، يمكن تقسيم غرف الأبحاث (المصنع) والمرافق ذات الصلة تقريبًا إلى ثماني فئات:

(1) معدات تنقية الهواء (معدات التبريد،وحدة تكييف الهواء، منقي،دش الهواءطاولة نظيفة)؛

(2) نظام غرف الأبحاث (أرضي/الأرضية، السقف /FFU، انحياز معدني، باب،نافذة النقل/ نافذة المراقبة، المصابيح)؛

(3) نظام إمداد وسط المعالجة (بما في ذلك المعدات) (الماء النقي، الغاز النقي، الغاز الخاص، المواد الكيميائية)؛

(4) التحكم في الاهتزازات الدقيقة والحماية الكهروستاتيكية؛

(5) نظام الملابس النظيفة، ومستلزمات غرف الأبحاث (الطاولة، الكرسي، الخزانة، الرف، المكنسة الكهربائية)، المواد الاستهلاكية للغرفة النظيفة؛

(6) أدوات الاختبار؛

(7) مرافق حماية البيئة (نظام معالجة غاز النفايات، نظام معالجة مياه الصرف الصحي)؛

(8)Dجهاز مخصص (جهاز العزل البيولوجي، جهاز البيئة الدقيقة)

متطلبات التحكم في بيئة الإنتاج في إنتاج المنتجات الإلكترونية لا تتضمن فقط متطلبات صارمة بشأن نظافة الهواء في الغرفة، ولكن لها أيضًا متطلبات صارمة بشأن محتوى الشوائب النقاء لجميع أنواع الوسائط عالية النقاء التي تكون على اتصال مباشر مع عملية إنتاج المنتجات الإلكترونية - الماء عالي النقاء، والغاز عالي النقاء، والمواد الكيميائية عالية النقاء، وما إلى ذلك. كما أن بعض المنتجات الإلكترونية لديها أيضًا متطلبات أكثر صرامة فيما يتعلق بالاهتزاز، والكهرباء الساكنة، والتداخل الكهرومغناطيسي، وإمدادات الطاقة، وما إلى ذلك.