يتكون نظام مياه التبريد العملية من الأجزاء التالية: المبردات والمضخات والمبادلات الحرارية وخزانات المياه والمرشحات ومعدات المعالجة.
مبرد الماء: توفير مصدر بارد لنظام مياه التبريد.
مضخة الماء: تقوم بضغط الماء لضمان دورانه في نظام التبريد.
المبادل الحراري: استخدم هذا الجهاز لتبادل الحرارة بين نظام الماء المبرد ونظام الماء المبرد لنقل الحرارة المتولدة في نهاية تحميل النظام إلى نظام الماء المبرد.هناك العديد من أنواع المبادلات الحرارية، والتي يمكن تقسيمها إلى نوع الغلاف والأنبوب، ونوع اللوحة، ونوع اللوحة ذات الزعانف، ونوع الأنابيب الحرارية، وما إلى ذلك وفقًا لشكلها.بالمقارنة، فإن المبادل الحراري للوحة لديه مزايا المساحة الصغيرة ومساحة نقل الحرارة الكبيرة.مع الأخذ في الاعتبار خصائص التكلفة للمساحة والمساحةفي مصنع أشباه الموصلات، يفضل استخدام المعدات ذات المساحة الصغيرة لتوفير مساحة الأرض والتكلفة الهندسية.
خزان المياه: يلعب خزان المياه في النظام المفتوح بشكل أساسي دور تكملة مصدر المياه.يحتاج خزان المياه في النظام المغلق إلى اختيار خزان مياه توسعي.يحتوي خزان المياه التوسعي على ثلاث وظائف.الأول هو احتواء وتعويض تمدد وانكماش الماء في النظام؛والآخر هو توفير ضغط مستقر لنظام المياه المتداولة المغلقة ولعب دور في استقرار النظام؛والثالث هو إشارة إلى مضخة مياه النظام، وعادة ما يرسل خزان التمدد إشارة لبدء أو إيقاف مضخة مياه النظام.
مرشح: تصفية الجسيمات الصلبةهناك نظامان مستقلان نسبيًا في عملية تبريد الماء، الماء المبرد ومياه التبريد.يتم توفير الماء المبرد بواسطة المبرد، ويقوم الماء المبرد وماء التبريد بتبادل الحرارة لتبريد ماء التبريد وتقليل درجة حرارة المعدات.يتم ضخ الماء من معدات الإنتاج من خلال مضخة الماء إلى المبادل الحراري للتأكد من درجة حرارة مياه التبريد العملية من خلال التحكم في كمية الماء المبرد، ومن ثم إرسالها إلى معدات خط الإنتاج بعد مرور الفلتر، ومن ثم العودة إلى مضخة المياه.عملية تشكيل مياه التبريد تدور بشكل متكرر.يتم إرجاع الماء المبرد مباشرة إلى المبرد.